皇冠走地:激光光刻技术可以处理石墨烯

随着石墨烯的发现，二维材料逐渐进入人们的视野，成为材料领域的研究热点。通过自组装、电子束蚀刻、极端紫外光刻等方法，可以在石墨烯上制备出纳米结构，并调节其带隙、吸收、载流子迁移率等性能。然而，这些技术是费时、昂贵和缺乏普遍性的。因此，如何降低成本，高效制备微纳米石墨烯是目前需要解决的重要问题。
飞秒激光加工技术以其超高峰值功率和超短脉冲持续时间的独特优势，已广泛应用于各种材料的超精细精细加工领域。然而，以激光直写为例，虽然其精度很高，但在超细和精细纳米制备中其效率还有待提高。同时保证加工精度和加工效率是需要解决的主要问题之一。如何利用灵活简单的加工手段解决加工精度和效率问题，是飞秒激光应用的关键。中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研究员杨建军说。

首次证明FPL技术能够在二维薄膜上快速制备大面积高质量的亚微米周期结构。由于飞秒激光的非线性光学特性，FPL技术的加工过程不容易受到材料表面缺陷、杂质等因素的影响，加工基片也不容易受到材料类型的限制。加工后的材料具有优良的力学性能，完全可以用传统的湿法转移。这为相关材料的周期性微纳米结构的柔性制备奠定了基础。